Fabricación de películas delgadas de ZnO y ZnO:In caracterización estructural y eléctrica

Abstract

La presente tesis trata sobre la fabricación de películas delgadas de ZnO y znO:In, mediante la caracterización estructural y eléctrica. Actualmente existe un gran interés por fabricar en forma de película delgada diferentes tipos de materiales debido a las múltiples ventajas tecnológicas que ella ofrece. Mediante la tecnología de películas es posible obtener materiales con características morfológicas, estructurales y de composición que no serían posible obtenerlos en forma natural, permitiendo satisfacer múltiples demandas tecnológicas. El desarrollo de la tecnología moderna en los campos de la microelectrónica, óptica, electroquímica, superconductividad, etc. está íntimamente relacionado con el desarrollo de la tecnología de las películas delgadas La investigación en películas delgadas dieléctricas se inicia en la década de los años cuarenta (1). Desde ese entonces se han desarrollado variadas técnicas de fabricación y caracterización, así como la formulación de modelos teóricos, a fin de que permitan entender las características físicas y químicas del material obtenido. En el presente trabajo las razones fundamentales para utilizar la TRP en la obtención de las películas delgadas de óxido de zinc (ZnO) y óxido de zinc dopado con indio (ZnO:In) fueron las siguientes: Se tenía la infraestructura básica de la técnica, diseñado para la obtención del óxido de zinc y estaño (7,8) Factibilidad de obtener ZnO:In por esta técnica de acuerdo a trabajos previos en la literatura (9-10) Técnica de bajo costo. Posibles aplicaciones inmediatas del material.