Principios físicos y aplicaciones de la microscopia electrónica de barrido

Abstract

El presente trabajo resume los principios físicos del funcionamiento, el proceso de formación e interpretación de la imagen del Microscopio Electrónico de Barrido (MEB). Asimismo, se describe las diferentes señales obtenidas en el MEB y su relación con las propiedades físicas de la muestra. En el Capítulo 1 se hace una descripción general del MEB, es decir, las etapas que la conforman y la descripción del funcionamiento de cada una de esas etapas. Además en este capítulo se presentan todos los fundamentos teóricos concernientes a la óptica electrónica, la interacción de los electrones con la materia, las señales que resultan debido al proceso de interacción, y una descripción general de los detectores usados en el MEB. En el capítulo 2 se explica en detalle el funcionamiento de las distintas lentes que conforman al MEB (cañón electrónico, lente condensadora y lente objetivo); también, en este capítulo, se discute el proceso de formación de imágenes y los criterios que se deben de tener en cuenta para obtener una imagen en un tubo de rayos catódicos (TRC). En el capítulo 3 se describe al MEB HITACHI S-500 y se menciona las condiciones ambientales con que se debe contar para su óptimo funcionamiento. Mientras que en el capítulo 4 se dan las pautas de cómo alinear y operar correctamente al MEB HITACHI S-500. Además, en este capítulo se describe el procedimiento experimental, a seguirse, de cómo preparar las muestras, tanto metálicas como no metálicas, para dejarlo listo para el análisis por MEB Por último, se presenta una relación de aplicaciones donde se ha utilizado muestras obtenidas en los distintos laboratorios de la facultad de ciencias como de otras facultades y también de algunas muestras procedentes de la industria.