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Title: Diseño y construcción de un sistema para el monitoreo del crecimiento de una película delgada, fabricada por rociado pirolítico
Authors: Comina Bellido, Germán Yuri
Advisors: Rodríguez Rodríguez, Juan Martín
Keywords: Sistema de monitoreo;Diseño y construcción;Perfilometría;Microscopía electrónica
Issue Date: 2003
Publisher: Universidad Nacional de Ingeniería
Abstract: Se ha desarrollado un sistema que permite monitorear el crecimiento, obtener el espesor, el índice de refracción, la rugosidad y el perfil de una película delgada fabricada por rociado pirolítico. El sistema se basa en medir la reflexión de un láser sobre un sistema película- sustrato; el patrón de interferencia obtenido durante el depósito de la película, se usa para calcular el espesor, la rugosidad y el índice de refracción de la película. Midiendo el patrón de interferencia para siete puntos separados 0.5 cm sobre la película, es posible obtener el perfil de la película. La confiabilidad del equipo fue probada fabricando películas de ZnO, depositadas sobre vidrio. Se comprobó que los valores del espesor calculados con el equipo se acercan bastante a los valores obtenidos por perfilometría y por microscopía electrónica de barrido de la sección trasversal. Se utilizó un microscopio electrónico de barrido, para analizar la superficie de las películas. Las micrografías muestran que la superficie está formada por partículas de aproximadamente 200 nm de tamaño y además el tamaño se incrementa cuando la película es más gruesa. Este hecho se relaciona con un incremento de la rugosidad obtenida con el equipo fabricado.
URI: http://cybertesis.uni.edu.pe/handle/uni/2079
Rights: info:eu-repo/semantics/embargoedAccess
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