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Título : Elaboración de filtros ópticos de película delgada de óxido de titanio, producidos por técnica RF Magnetron Sputtering
Autor : Tafur Anzualdo, Gelacio Albino
Asesor : Talledo Coronado, Arturo
Palabras clave : Ciencias;Óptica física;Óxido de Titanio;Películas delgadas;Tecnología del vacío
Fecha de publicación : 2009
Editorial : Universidad Nacional de Ingeniería
Resumen : El presente informe tiene como objetivo la elaboración de filtros ópticos de película delgada de óxido de titanio, producidos por la técnica RF Magnetrón Sputtering, sobre substratos de vidrio, y su caracterización óptica y estructural de las películas fabricadas. Los filtros Fabry Perot producidos están constituidos por películas delgadas de plata y óxido de titanio que tienen espesores entre 80 y 250 nm medidos a partir de los máximos y mínimos de interferencia en los espectros ópticos. Las películas delgadas de óxido de titanio, aluminio y los filtros ópticos producidas han sido analizadas mediante UV Visible Spectrophotometer, Shimadzu para obtener los gráficos de la transmitancia, así mismo estimar el índice de refracción y el espesor de las películas producidas. Mediante la técnica de difracción de electrones se ha logrado comprobar (verificar) la estructura cristalina tetragonal del óxido de titanio.
URI : http://cybertesis.uni.edu.pe/handle/uni/4059
Derechos: info:eu-repo/semantics/openAccess
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