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Estudio de la influencia de la variación del flujo de acetileno y del voltaje de polarización del sustrato sobre el estrés interno de películas Ti-DLC | 340 |
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Estudio de la influencia de la variación del flujo de acetileno y del voltaje de polarización del sustrato sobre el estrés interno de películas Ti-DLC | 0 | 6 | 4 | 10 | 5 | 2 | 0 |
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